乳暈雷射非常適合在箔片和薄板中鑽出毫米級的孔,但對於需要大量較小孔的應用(例如,製造具有5–50μm數量級的單個孔的網狀箔) 以及在大的開放區域,DPSS雷射可以提供更好的解決方案。可用的高重複頻率(kHz)允許高生產率的鑽孔。DPSS雷射器的倍頻通常提供更好的加工特性。紫外線中的三倍頻和四倍頻使得這些雷射可以加工聚合物和其他對近紅外和可見雷射輻射透明的材料。
乳暈雷射準分子是用於小孔鑽孔的另一重要工具,準分子雷射是一種脈衝雷射,它產生大的均勻光束,該光束被掩模成像在工件上,並且可以產生孔,異型孔和3D結構化孔的陣列。光纖雷射器,包括連續波和正弦脈衝光纖雷射器,也都被引入雷射鑽孔中。
乳暈雷射準分子是用於小孔鑽孔的另一重要工具,準分子雷射是一種脈衝雷射,它產生大的均勻光束,該光束被掩模成像在工件上,並且可以產生孔,異型孔和3D結構化孔的陣列。光纖雷射器,包括連續波和正弦脈衝光纖雷射器,也都被引入雷射鑽孔中。
超快雷射也對雷射鑽孔產生影響,這樣的雷射器提供了高光束質量,允許將焦點尺寸減小到小於10μm,尤其是在採用倍頻或三倍頻的雷射器時。更重要的是,超快脈衝長度(通常<20pS)允許去除材料,而對基板幾乎沒有熱影響。固態和光纖超快雷射器均可用。前者傾向於提供較高的脈衝能量(小於10 μJ到幾毫焦耳)和適度的高重複率(1-500千赫),而在光纖雷射器脈衝能量通常被限制在<20μJ但具有重複率,以10的兆赫。許多金屬表現出的燒蝕閾值大約需要5 對於約25μm的光斑尺寸,可以加工和鑽孔,但是要求以如此高的重複率進行光束/工件操縱。